Upravljačka jedinica CryoPump sustava

Upravljačka jedinica CryoPump sustava je "mozak" cijelog CryoPump sustava, koji je odgovoran za preciznu regulaciju i sveobuhvatno praćenje rada CryOPUMP -a kako bi se osigurao stabilan i učinkovit rad CryoPump.

Ključne značajke:

• Kontrola rada: poduzima ključni zadatak pokretanja i zaustavljanja kriogene pumpe i može točno prilagoditi brzinu crpke u skladu s stvarnom potražnjom. Podešavanjem brzine, brzina crpljenja CryoPump može se fleksibilno kontrolirati kako bi se prilagodila različitim vakuumskim okruženjima i zahtjevima procesa. Na primjer, u različitim fazama proizvodnje poluvodiča, potražnja za razinom vakuuma dinamički se mijenja, a upravljačka jedinica može prilagoditi brzinu krioPUMP -a u skladu s tim da bi održao odgovarajuće stanje vakuuma.
• Nadgledanje parametara: Nadgledanje niza ključnih parametara u stvarnom vremenu u sustavu krioPUMP-a, uključujući, ali ne ograničavajući se na temperaturu, tlak, razinu tekućine itd. U slučaju praćenja temperature, na primjer, temperaturu rashladnog sustava a CryoPump izravno utječe na njegove performanse, a upravljačka jedinica kontinuirano prati ove podatke o temperaturi kako bi osigurala da oprema djeluje u odgovarajućem temperaturnom rasponu. Jednom kada parametar nenormalno fluktuira, odmah se pokreće odgovarajući mehanizam zaštite.
• Sigurnosna zaštita: ugrađeni mehanizam zaštite sigurnosti kako bi se osigurala sigurnost opreme i osoblja na svestrani način. Kad se otkrije tlak sustava previsok, uređaj za ublažavanje tlaka brzo se počinje sprječavati ozbiljne nesreće poput oštećenja opreme ili čak eksplozije uzrokovane prekomjernim tlakom; Ako se utvrdi da je struja motora preopterećena, na vrijeme prekinite napajanje kako biste izbjegli izgaranje motora. Istodobno, ima i funkcije zaštite od curenja i zaštite od prekomjerne temperature za izgradnju čvrste sigurnosne linije za stabilan rad sustava.
• Dijagnoza i alarm grešaka: Inteligentna analiza operativnog statusa CryoPump -a u svakom trenutku, nakon što se zabilježi nenormalna situacija, vrsta grešaka i lokacija mogu se brzo i precizno dijagnosticirati. Na primjer, kada efikasnost crpke crpke naglo padne, upravljačka jedinica analizira relevantne parametre kako bi utvrdila je li adsorbent unutar crpke propao ili je cjevovod procurio. Nakon što se greška potvrdi, signal zvučnog i vizualnog alarma bit će poslat odmah, a informacije o pogrešci bit će jasno prikazane na zaslonu kako bi podsjetili operatera da se na vrijeme nosi s njim.